經濟部產業發展署石化產業高值化推動專案

FINE CERAMICES CENTER透過奈米複合化技術，開發出精密研磨玻璃用的CMP（化學機械研磨）砥粒。智慧型手機的保護玻璃板等的製程中，精密研磨技術極為重要，氧化鈰對於玻璃有適切的化學反應及硬度，因此通常都以此物質作為CMP砥粒。

研發團隊試著尋找兼具化學反應及機械作用的材料，但結果並不如意。化學反應性較大的材料為Strontium zirconate，而機械作用較大的材料則有二氧化鋯等。因此利用噴霧熱分解法，讓一個砥粒的粒子中產生奈米分散。爾後研究人員拿了液晶顯示器用的氧化鋁硼珪酸玻璃進行試驗，發現新研發的砥粒的CMP效果優異，今後將針對細微組織進行最適切的改。